…Magnetron-Sputterabscheidung. Nanodraht-Musterung: Strukturierung der Nanodrähte mit rasterelektronenstrahlgestützter … Haftung der Nanodraht-Struktur auf der NbTiN-Schicht erheblich. Darüber hinaus tragen zusätzliche Nanodraht-Muster dazu bei…
Originalartikel lesen: Fortschritte in supraleitenden Nanodraht-Photonendetektoren für sichere Quantenkommunikation
